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氣體控制器實際出氣量變小的解決方案

更新時間:2025-04-18   點擊次數:907次

近日,客服工程師接到了客戶消息,客戶反饋說氣體質量流量控制器后端實際的出氣量比設定的流量小很多,反復檢查都沒找到原因。接到客戶消息后,工程師第一時間詢問了解客戶使用的基本情況。經過電話溝通、遠程視頻、產品返廠檢查等一系列排查后發現:導致氣體質量流量控制器后端實際出氣量小的原因,是因為客戶加的轉接頭漏氣 。考慮到客戶使用的管路為3mm,并且3mm接頭可以滿足客戶氣體質量流量控制器的滿量程流量,在征求客戶的同意后,維修工程師將氣體質量流量控制器轉接頭換為與管路適配的3mm接頭。避免了中間因轉接頭出現問題,從而導致氣體質量流量控制器無法正常工作的現象。

注意:進出氣接頭φ3mm,氣體質量流量控制器產品滿量程>5SLM不適用

如果您在使用氣體質量流量控制器時也遇到相同的問題,您可以按照下面的步驟檢查:

第1步:排查壓力是否滿足工作壓力要求

第2步:排查是否有變徑或阻流,例如縮徑或者閥門未打開

第3步:排查氣路以及接頭氣密性是否良好,是否存在漏氣現象

第4步:排查接線是否正確以及線是否有故障

第5步:排查是否為氣體質量流量控制器污染以及其它故障

1、對于氣體質量流量控制器要特別注意工作介質的氣壓,注意使控制器進出氣口兩端的工作壓差保持在指標范圍之內。若工作壓差小于要求值,有可能流量達不到設定值;

2、使用氣體必須凈化,切忌有粉塵、液體和油污。必要時,可以在氣路中加裝過濾器。如果流量計出口接有液體源瓶,應在流量計出口加裝單向閥,防止液體回流損壞流量計;

3、我司的氣體質量流量控制器有多種氣路接頭形式可以選擇,在流量允許范圍內,客戶在購買時可選擇與管路匹配的接頭形式。